多层真空等离子清洗机，腔体尺寸大小适中，可以适应大多数客户产品清洗需求，并且该设备可兼容不同尺寸的
腔体，可根据客户需求定制。
该设备采用独特的匀气结构，清洗过程中再配合抽速和有效功率的精准控制工艺，清洗效果均匀性更好。
设备有高中低配置可选，可以根据客户应用场景选择最实用的方案。
设备特点 Equipment Characteristics
- 腔体采用进口材料，军工级的焊接工艺，密封性强，真空度最高可达5pa以内
- 专利的匀气结构，确保清洗效果均匀性和一致性
- 超大处理空间，提升处理产能，可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求
- 多种配置可供选择搭配，满足客户不同需求
- 水滴⾓<10°(PCB)
- 智能化程序控制，一键启动，操作简单
- 低温清洗(＜40℃)
设备参数 Equipment parameters
| 功能配置 | 技术参数 |
| 型号 | VP-100LA |
外型尺寸 | L1040*W800*H1820(mm) |
| 重量 | 500kg |
腔体尺寸 | L460*W450*H500(mm) |
腔体材质 | 铝合金（可订制不锈钢） |
最大处理产品尺寸 | L400*W350*H390（mm） |
电极板层数 | 水平9层（可定制竖直方向） |
可处理产品层数 | 8层 |
电源 | 射频13.56MHZ，0-1000W（可选40KHZ,0-1000W） |
真空泵 | 标配国产油泵（可选进口油泵/干泵/油泵+罗茨泵） |
工艺气体 | 氩气、氧气（可选配氮气、氢气） |
真空计 | 国产皮拉尼电阻真空计（可选进口） |
流量计 | 国产高精密质量流量计（可选进口） |
流量范围 | 0-300sccm |
工作真空度 | ≤30Pa |
电源 | 三相380V（可选俩相220V） |
控制 | PLC+10.4寸触摸屏 |
额定功率 | 2.5KW |
