在线真空等离子清洗机是一台全自动设备，无需人员看护，产品通过流水线流入设备，自动扫码上传MES系统后，自动进行等离子清洗，使用方便。该设备采用独特的匀气结构，清洗过程中再配合抽速和有效功率的精准控制工艺，清洗效果均匀性更好。设备有高中低配置可选，可以根据客户应用场景选择最实用的方案。
设备特点 Equipment Characteristics
• 全自动化连线设计,左进右出/右进左出
• 晶圆级气路设计,防止气体泄漏引发安全事故
• 专利的两级匀气设计，大幅提高等离子均匀性
• 专利的电极铠装机构，减少无效等离子损耗
• 腔体高密封专利设计可达5Pa以内
• 水滴⾓<10°(FPC)
• 低温清洗(＜40℃)
• MES系统通讯（选配）
设备参数 Equipment parameters
| 功能配置 | 技术参数 |
| 型号 | HY-VP-16L |
| 外型尺寸 | L1630*W1010*H1820(mm) |
| 重量 | 540kg |
| 适用产品尺寸 | L≤400、W≤350、H≤20 (mm) |
| 抽真空时间 | 小于15s |
| 破真空时间 | 小于等于s |
| 工作真空度 | 10Pa-50Pa |
真空测定系统 | 皮拉尼电阻真空计 |
| 气体测量系统 | 高精密质量流量计 |
| 工艺气体 | 氧气、氩气(标配) |
额定功率 | 3.5KW |
| 传送方向 | ■左→右(标配) □右→左（选配） |
需求气压 | 0.4-0.6Mpa |
显示 | 10.4寸显示器 |
| 控制 | 可编程序控制器(PLC) |
电源 | 三相380V（可选220V） |
射频电源 | 0-500W（范围内可调)、0-1000W (选配) |
